1.La lasera detektokapo kaj la specimena skanada stadio estas integritaj, la strukturo estas tre stabila, kaj la kontraŭ-interfero estas forta
2.Precizeca sondilo poziciiga aparato, lasera makulo-alĝustigo estas tre facila
3.Single-aksa stirado specimeno aŭtomate alproksimiĝas al la sondilo vertikale, tiel ke la pinto de nadlo estas perpendikulara al la specimena skanado
4.La inteligenta kudrila nutra metodo de motor-kontrolita premiza piezoelektra ceramiko aŭtomata detekto protektas la sondilon kaj la specimenon
5.Aŭtomata optika poziciigado, ne necesas fokusigi, realtempan observadon kaj poziciigon de la sonda specimena skanadareo
6.Spring pendado ŝokorezista metodo, simpla kaj praktika, bona ŝokorezista efiko
7.Metala ŝirmita sonigala skatolo, enkonstruita alt-precizeca sensilo pri temperaturo kaj humideco, realtempa monitorado de la labormedio
8.Integrita skanilo nelinia korekta uzantredaktilo, nanometra karakterizado kaj mezura precizeco pli bona ol 98%
Funkcia reĝimo | tuŝreĝimo, tuŝreĝimo |
Laŭvola reĝimo | Frikcio/Latera Forto, Amplekso/Fazo, Magneta/Elektrostatika Forto |
forto-spektra kurbo | FZ-forta kurbo, RMS-Z-kurbo |
XY-skana intervalo | 20*20um, laŭvola 50*50um, 100*100um |
Z-skana gamo | 2.5um, laŭvola 5um, 10um |
Skanado rezolucio | Horizontala 0.2nm, Vertikala 0.05nm |
Specimena grandeco | Φ≤90mm, H≤20mm |
Specimena sceneja vojaĝo | 15*15mm |
Optika observado | 4X optika objektiva lenso / 2.5um rezolucio |
Skanado rapideco | 0.6Hz-30Hz |
Skanado angulo | 0-360° |
Operacia medio | Windows XP/7/8/10 operaciumo |
Komunika Interfaco | USB2.0/3.0 |
Ŝoksorba dezajno | Printempo Suspendita/Metala Ŝirmita Skatolo |